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　　近年來(lái)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)風(fēng)云變化，中美兩國(guó)貿(mào)易戰(zhàn)持續(xù)上演，從“斷供芯片”到打壓中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨巨大的進(jìn)口壓力。根據(jù)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，先進(jìn)封測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率整體上不超過(guò) 5%，個(gè)別封測(cè)產(chǎn)線(xiàn)國(guó)產(chǎn)化率僅為 1%，大幅低于制程設(shè)備整體上 10%-15% 的國(guó)產(chǎn)化率。

　　在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，上游設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重中之重，始終是懸在中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)頭上的“達(dá)摩克利斯之劍”。當(dāng)前，半導(dǎo)體行業(yè)正處于周期性向成長(zhǎng)性轉(zhuǎn)變的過(guò)程中，而作為上游的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)也開(kāi)啟了其持續(xù)增長(zhǎng)之路。如何給封裝測(cè)試廠(chǎng)提供更好的設(shè)備，泰研半導(dǎo)體傾注十年的心血，扎根先進(jìn)封裝設(shè)備研發(fā)，完成了這項(xiàng)行業(yè)使命。目前已具備為全球著名的恩智浦、日月光等封裝廠(chǎng)提供先進(jìn)設(shè)備的實(shí)力，給行業(yè)交上了一份極其亮麗的答卷。

　　專(zhuān)注先進(jìn)封裝設(shè)備研發(fā)

　　隨著后摩爾定律時(shí)代的到來(lái)，傳統(tǒng)封裝已經(jīng)不再能滿(mǎn)足需求。傳統(tǒng)封裝的封裝效率（裸芯面積 / 基板面積）較低，存在很大改良的空間。芯片制程受限的情況下，改進(jìn)封裝便是另一條出路。舉例來(lái)說(shuō)，QFP封裝效率最高為 30%，那么 70% 的面積將被浪費(fèi)，DIP、BGA 浪費(fèi)的面積會(huì)更多，因此需要解決在原來(lái)的基礎(chǔ)上升級(jí)設(shè)備。而先進(jìn)的封裝設(shè)備就能很好解決這些問(wèn)題。

　　半 導(dǎo) 體 先 進(jìn) 封 裝 主 要 包 括 倒 裝 類(lèi)（FlipChip,Bumping）、 晶 圓 級(jí) 封 裝（WLCSP，F(xiàn)OWLP，PLP）、2.5D 封裝（Interposer）和 3D 封裝（TSV）等。以晶圓級(jí)封裝為例，產(chǎn)品生產(chǎn)以圓片形式批量生產(chǎn)，可以利用現(xiàn)有的晶圓制備設(shè)備，封裝設(shè)計(jì)可以與芯片設(shè)計(jì)一次進(jìn)行。這將縮短設(shè)計(jì)和生產(chǎn)周期，降低成本。

　　從整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)來(lái)看，半導(dǎo)體制備主要分為 IC設(shè)計(jì)—晶圓制造—封裝測(cè)試，而泰研半導(dǎo)體主要集中在封裝環(huán)節(jié)的設(shè)備研發(fā)。泰研半導(dǎo)體董事長(zhǎng)張少波表示，“封裝是一個(gè)大項(xiàng)目，封裝環(huán)節(jié)也包括很多細(xì)分領(lǐng)域，其中封裝測(cè)試的流程又可分為前端 - 中端 - 后端。所謂的前端就是在打線(xiàn)、固晶、晶圓切割方面；中端是封裝；封裝后端就是切晶成型以及其他還需做鍍膜和其他的輔助工藝。泰研半導(dǎo)體主要集中在先進(jìn)封裝后端及提供先進(jìn)工藝。就目前而言，在 5G、物聯(lián)網(wǎng)等大趨勢(shì)推動(dòng)下，為解決一些功能性的需求，先進(jìn)封裝端屬于新的發(fā)展環(huán)節(jié)，設(shè)備需要新購(gòu)。”

　　目前，我國(guó)半導(dǎo)體封裝企業(yè)大概有 400 多家，且主要集中在傳統(tǒng)封裝領(lǐng)域，且大部分資金都投入在傳統(tǒng)封裝領(lǐng)域，導(dǎo)致國(guó)內(nèi)先進(jìn)制造工藝鏈缺失，產(chǎn)業(yè)自主安全性差。如今，先進(jìn)封裝比較成熟是臺(tái)積電、日月光等臺(tái)灣廠(chǎng)商；中國(guó)大陸的長(zhǎng)電、華天、通富也才開(kāi)始涉及，封裝領(lǐng)域也主要偏向晶圓單位延伸，很少涉及先進(jìn)封裝技術(shù)。整體來(lái)看，中國(guó)大陸先進(jìn)封裝還處于起步階段，先進(jìn)封裝技術(shù)上比較薄弱。

　　泰研半導(dǎo)體是國(guó)內(nèi)為數(shù)不多專(zhuān)注先進(jìn)封裝設(shè)備的廠(chǎng)商。張少波表示，“跟傳統(tǒng)封裝廠(chǎng)相比，泰研半導(dǎo)

　　體優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在先進(jìn)封裝領(lǐng)域新的設(shè)備和制程工藝技術(shù)。目前，先進(jìn)封裝在中國(guó)大陸還無(wú)法大量量產(chǎn)，國(guó)內(nèi)的企業(yè)缺乏新工藝的研發(fā)。比如，鐳射設(shè)備和鍍膜設(shè)備主要為臺(tái)企和韓企，中國(guó)大陸企業(yè)還達(dá)不到行業(yè)的最高要求。”先進(jìn)封裝是未來(lái)電子產(chǎn)業(yè)鏈最主要的競(jìng)爭(zhēng)點(diǎn)和技術(shù)綜合點(diǎn)。他認(rèn)為，晶圓、IC 設(shè)計(jì)、系統(tǒng)廠(chǎng)商都會(huì)往封裝方面延伸，其對(duì)設(shè)備與材料的需求也會(huì)越來(lái)越大，而先進(jìn)封裝設(shè)備的發(fā)展會(huì)推動(dòng)整個(gè)行業(yè)追趕上國(guó)外技術(shù)水平。而泰研半導(dǎo)體聚焦封裝設(shè)備領(lǐng)域，在幫助產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)加快量產(chǎn)、提高良率與可靠性的同時(shí)，還進(jìn)一步降低了設(shè)備成本。

　　進(jìn)入恩智浦半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈

　　2008 年之前，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備基本全靠進(jìn)口。因此，國(guó)家設(shè)立了國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)——大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝科技項(xiàng)目（簡(jiǎn)稱(chēng) 02 專(zhuān)項(xiàng)）研發(fā)國(guó)產(chǎn)化設(shè)備。但由于設(shè)備制造對(duì)技術(shù)和資金需求的要求非常高，涉足半導(dǎo)體設(shè)備的廠(chǎng)商屈指可數(shù)。

　　張少波表示，半導(dǎo)體設(shè)備嚴(yán)重缺失的另一大原因在于半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)周期長(zhǎng)、投入大。他指出，雖然目前國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商在工藝制程上的研發(fā)已經(jīng)有所突破，但要實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)還有一定的距離，“其中，非常關(guān)鍵的是要有試錯(cuò)的機(jī)會(huì)。試錯(cuò)的周期通常長(zhǎng)達(dá)一年甚至數(shù)年。”然而，現(xiàn)實(shí)情況是國(guó)內(nèi)的封裝廠(chǎng)商不敢使用國(guó)產(chǎn)化設(shè)備，都不愿意充當(dāng)小白鼠，這在很大程度上延緩了半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

　　為了獲得訂單，目前國(guó)內(nèi)設(shè)備廠(chǎng)商大多提供 DEMO樣機(jī)給客戶(hù)，通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)證測(cè)試并上線(xiàn)生產(chǎn)、驗(yàn)證客戶(hù)下達(dá)采購(gòu)訂單并付款，這些需要經(jīng)歷一段漫長(zhǎng)的階段。張少波表示，“最難克服的困難就是驗(yàn)證設(shè)備。如果得到客戶(hù)認(rèn)可，愿意提供驗(yàn)證機(jī)會(huì)，客戶(hù)就需要組織大量的技術(shù)人員對(duì)接，并且全程配合、參與。設(shè)備驗(yàn)證過(guò)程會(huì)涉及各個(gè)環(huán)節(jié)的細(xì)節(jié)把控，需要保證每個(gè)環(huán)節(jié)能夠順利進(jìn)行，設(shè)備和人員必須都要具備足夠的實(shí)力，才能達(dá)成交付。一臺(tái)設(shè)備完成交付，周期需要一年甚至更久。”

　　從最初只為日月光提供鐳射的小團(tuán)隊(duì)開(kāi)始，泰研半導(dǎo)體在先進(jìn)封裝設(shè)備研發(fā)方面已經(jīng)具備了十年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，無(wú)論從團(tuán)隊(duì)的實(shí)力還是試錯(cuò)經(jīng)驗(yàn)都比其他企業(yè)更具優(yōu)勢(shì)。張少波表示，相對(duì)國(guó)內(nèi)嚴(yán)重缺乏研發(fā)封裝設(shè)備專(zhuān)業(yè)人才的發(fā)展現(xiàn)狀，泰研半導(dǎo)體在成立之初就非常重視核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)的打造，且自身不斷培養(yǎng)行業(yè)人才，目前已經(jīng)組建了包括軟件架構(gòu)、機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝方面的專(zhuān)業(yè)人才隊(duì)伍，甚至部分工程師擁有擁有 20-30 年的行業(yè)技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。因此，在先進(jìn)半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，泰研半導(dǎo)體才有底氣不斷挑戰(zhàn)自己，向全球半導(dǎo)體知名企業(yè)提供設(shè)備。

　　能夠?yàn)槿蛑陌雽?dǎo)體公司恩智浦提供先進(jìn)封裝設(shè)備，足以證明泰研半導(dǎo)體在先進(jìn)封裝設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)先實(shí)力！眾所周知，恩智浦是歐洲半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“三巨頭”之一，自 1987 年以來(lái)，幾乎從未跌出全球半導(dǎo)體企業(yè) 20 強(qiáng)。恩智浦在半導(dǎo)體領(lǐng)域非常注重內(nèi)在技術(shù)實(shí)力，同樣在選擇封裝設(shè)備的同時(shí)也會(huì)對(duì)設(shè)備廠(chǎng)提出更高的要求。張少波表示，“泰研半導(dǎo)體成為恩智浦的設(shè)備供應(yīng)商，也不是一蹴而就的，在交付設(shè)備之前，已潛心研發(fā)了八年之久，和客戶(hù)一起累計(jì)投入研發(fā)資金包括試錯(cuò)成本數(shù)千萬(wàn)元。”截至目前是中國(guó)大陸唯一一家為恩智浦提供設(shè)備的廠(chǎng)商。泰研半導(dǎo)體為恩智浦提供半導(dǎo)體設(shè)備，很大程度上堅(jiān)定了服務(wù)國(guó)內(nèi)封裝廠(chǎng)的信心，也為實(shí)現(xiàn)先進(jìn)半導(dǎo)體封裝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提供了標(biāo)桿性的探索與實(shí)踐。

　　遠(yuǎn)期聚焦半導(dǎo)體鐳射 +Plasma 晶圓切割

　　先進(jìn)封裝的需求上升加速了市場(chǎng)的投資擴(kuò)產(chǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)先進(jìn)封裝設(shè)備需求迅速提升。相關(guān)數(shù)據(jù)顯示，2019 年全球先進(jìn)封裝設(shè)備市場(chǎng)體量在 3.8 億美元，預(yù)計(jì)每年增速在 10%，2025年將達(dá)到 6.73 億美元。其中，大中華地區(qū)受產(chǎn)業(yè)政策的刺激和貿(mào)易戰(zhàn)進(jìn)口替代的因素影響，在全球占比約 70%，即市場(chǎng)將達(dá)到 4.37 億美元。因此，不難看出，未來(lái)先進(jìn)封裝將是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的重要方向之一。

　　從全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局來(lái)看，先進(jìn)半導(dǎo)體封裝主要集中在中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)。因有高通、英偉達(dá)、德儀等半導(dǎo)體企業(yè)訂單的支持，臺(tái)灣先進(jìn)封裝廠(chǎng)可以不停地?cái)U(kuò)產(chǎn)。張少波表示，“中國(guó)大陸先進(jìn)封裝廠(chǎng)商缺少下游先進(jìn)工藝客戶(hù)的支持，導(dǎo)致我國(guó)先進(jìn)封裝發(fā)展比較緩慢，也很難達(dá)成量產(chǎn)。與此同時(shí)，沒(méi)有下游客戶(hù)的支持，也無(wú)法實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備的優(yōu)化升級(jí)。現(xiàn)在市場(chǎng)上面臨的問(wèn)題是，消費(fèi)終端也需要引進(jìn)先進(jìn)的工藝，但又缺乏技術(shù)，中游企業(yè)對(duì)先進(jìn)封裝有需求，但是又沒(méi)有成熟的工藝，導(dǎo)致無(wú)法量產(chǎn)。”

　　為了彌補(bǔ)先進(jìn)封裝設(shè)備的缺口，泰研半導(dǎo)體在專(zhuān)注半導(dǎo)體先進(jìn)封裝設(shè)備研發(fā)、提供高性?xún)r(jià)比設(shè)備的同時(shí)，還不斷優(yōu)化提升相關(guān)配套服務(wù)。 張少波表示“目前很多企業(yè)僅提供半導(dǎo)體設(shè)備，不提供后端成套工藝及后續(xù)服務(wù)，制程工藝的前中后道工序是互為關(guān)聯(lián)并相互影響的，很多企業(yè)只是專(zhuān)注在自身設(shè)備的工藝解決的問(wèn)題，沒(méi)有能力去解決客戶(hù)前道或后道工序的技術(shù)問(wèn)題。但是泰研半導(dǎo)體除了提供設(shè)備還會(huì)幫客戶(hù)解決我設(shè)備生產(chǎn)工序之前和之后的工藝問(wèn)題。此外，泰研半導(dǎo)體也會(huì)跟客戶(hù)去推廣全新的工藝，提供相應(yīng)的工藝和設(shè)備服務(wù)。目前公司已經(jīng)完成了整個(gè)半導(dǎo)體基礎(chǔ)軟件架構(gòu)研發(fā)，且針對(duì)客戶(hù)需求在封裝設(shè)備做降維設(shè)計(jì)，提供更多適應(yīng)客戶(hù)需求的產(chǎn)品與服務(wù)。”

　　張少波也指出，“毋庸置疑，半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)替代之路還很長(zhǎng)，尤其是高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，一定不是一家企業(yè)單打獨(dú)斗，肯定是產(chǎn)業(yè)集群協(xié)同發(fā)展。中國(guó)半導(dǎo)體要追趕國(guó)際水平，無(wú)論在上游、中游都必須走國(guó)產(chǎn)化道路，需要全行業(yè)全力以赴，共同推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)達(dá)到國(guó)際水平。”

　　在半導(dǎo)體封裝設(shè)備領(lǐng)域，泰研半導(dǎo)體儼然成為先進(jìn)封裝領(lǐng)域不折不扣的黑馬，用實(shí)力為行業(yè)提交了一份完美的答卷。關(guān)于企業(yè)未來(lái)發(fā)展規(guī)劃，張少波表示，“未來(lái)，泰研半導(dǎo)體將聚焦半導(dǎo)體切割領(lǐng)域，進(jìn)一步研發(fā)出行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備。現(xiàn)階段我們已研發(fā)出 50μm 以?xún)?nèi)整套切割設(shè)備，如果市場(chǎng)一旦采納，我們將會(huì)是中國(guó)大陸唯一一家鐳射 +Plasma 切割晶圓的半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商！”