上海12月6日電,我國國產(chǎn)的代表國際尖端水平的高亮度LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)在正泰集團(tuán)上海張江理想能源設(shè)備有限公司6日成功下線,打破了該領(lǐng)域長期被歐美企業(yè)壟斷的局面,國內(nèi)LED生產(chǎn)成本有望顯著下降｡
MOCVD是高亮度LED芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵的設(shè)備,因設(shè)備技術(shù)難度高､開發(fā)周期長以及國內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因,市場主要被歐美企業(yè)所壟斷｡
近年來,隨著高亮度LED在戶外顯示､液晶面板背光､汽車應(yīng)用等領(lǐng)域滲透率的不斷提高,特別是半導(dǎo)體照明市場的啟動,對量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備的需求呈現(xiàn)出爆發(fā)性的增長,全球年需求達(dá)數(shù)百臺､市場規(guī)模數(shù)十億美元｡
我國LED外延芯片與封裝在規(guī)模和品質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就,產(chǎn)品國產(chǎn)化比例顯著提升,但關(guān)鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進(jìn)口,生產(chǎn)成本居高不下,嚴(yán)重制約著LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展｡因此開發(fā)出更高性價比的國產(chǎn)商業(yè)化MOCVD設(shè)備是海峽兩岸LED外延芯片企業(yè)的迫切要求｡
2010年9月,理想能源啟動MOCVD項目,在兩年時間里,理想能源技術(shù)團(tuán)隊設(shè)計開發(fā)出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備,并完成了第一代單腔體獨(dú)立設(shè)備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝,成功地實(shí)現(xiàn)GaN基LED外延片的發(fā)光｡
經(jīng)過設(shè)備原型機(jī)近1年的運(yùn)行證明其性能達(dá)到預(yù)定指標(biāo),于2012年5月通過上海市科委的驗收｡依據(jù)工藝驗證結(jié)果和客戶反饋,在第一代原型機(jī)的基礎(chǔ)上開發(fā)出第二代量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備,單腔一次可生產(chǎn)84片2英寸外延片,超過主流進(jìn)口設(shè)備｡
量產(chǎn)機(jī)型在產(chǎn)出率､可靠性､運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性等方面都有了顯著的提升,最適合商業(yè)量產(chǎn),該產(chǎn)品已申請20項國內(nèi)外專利｡
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